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      1. 行業應用

        人才戰略

        行業及應用

        翀偉材料擁有各種材質高性能彈性體材料(如Perfrez?全氟化橡膠、Viton氟化橡膠、Aflas四丙氟橡膠、HNBR氫化丁晴橡膠、EPDM三元乙丙橡膠等)制成的各種O型圈、X型圈、三角圈、U CUP、T-Seal、S-Seal、FS-Seal及各種客戶定制件;高功能材料(如:PEEK聚醚醚酮、PI聚酰亞胺、PCTFE聚三氟氯乙烯、RPTFE改性四氟乙烯等)及彈簧蓄能密封圈(泛塞圈)、金屬密封、旋轉軸封產品;以及運用于石油天然氣行業的抗爆三角圈、封隔器膠筒、防噴器環形膠芯,防噴器閘板密封組件等

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        半導體行業應用

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        市場價
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        產品編號
        所屬分類
        行業應用
        數量
        -
        +
        庫存:
        0
        1
        描述

        半導體

          半導體制程應用

          半導體設備要求密封件能兼容耐受性與高潔凈度,翀偉科技提供各種制程用全氟橡膠產品:

          濕制程:耐腐蝕,耐溶劑,低金屬離子全氟橡膠

          電漿制程:耐等離子,耐反應氣體,耐高溫,低釋氣全氟橡膠

          熱制程:耐高溫,低壓縮變形,低金屬離子全氟橡膠

        制程

        溫度

        接觸工況

        CWC系列應用

        半導體

        濕制程

        晶圓清洗

        RT~200℃

        Piranha SC-1/SC-2/HF/SPM

        CWC7511
        CWC7512
        CWC600

        蝕刻

        HNO3/HF/H3PO4/H2O2/Acetic acid BOE

        光刻

        H2SO4/NaOH/TMAH/NMP
        DMSO/MEA/PGMEA

        半導體

        熱制程

        氧化/擴散

        150℃~300℃

        SiH2Cl2 N2 HN3

        CWC750T
        CWC751T
        CWC900T
        CWC600T

        LPCVD

        O2 N2 HCl

        熱退火

        IR/Low outgassing

        半導體

        電漿制程

        蝕刻

        RT~300℃

        CF4 C3F8 CHF3 SF6 BCl HBr

        CWC650
        CWC750
        CWC8001
        CWC8002

        灰化

        O2 CF4 CHF3 NH3

        PECVD/HDPCVD
        SACVD

        N2O SiF4 O2 O3 NF3 CF4
        TMS TEOS TEBO NH3 SiS4

        PVD/Metal CVD/ALD

        WF6 SiH4 H2 O2 TiCl4 NF3 AR

         

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