行業應用
行業及應用
翀偉材料擁有各種材質高性能彈性體材料（如Perfrez?全氟化橡膠、Viton氟化橡膠、Aflas四丙氟橡膠、HNBR氫化丁晴橡膠、EPDM三元乙丙橡膠等）制成的各種O型圈、X型圈、三角圈、U CUP、T-Seal、S-Seal、FS-Seal及各種客戶定制件;高功能材料（如：PEEK聚醚醚酮、PI聚酰亞胺、PCTFE聚三氟氯乙烯、RPTFE改性四氟乙烯等）及彈簧蓄能密封圈（泛塞圈）、金屬密封、旋轉軸封產品;以及運用于石油天然氣行業的抗爆三角圈、封隔器膠筒、防噴器環形膠芯，防噴器閘板密封組件等
半導體制程應用
半導體設備要求密封件能兼容耐受性與高潔凈度，翀偉科技提供各種制程用全氟橡膠產品:
濕制程:耐腐蝕，耐溶劑，低金屬離子全氟橡膠
電漿制程:耐等離子，耐反應氣體，耐高溫，低釋氣全氟橡膠
熱制程:耐高溫，低壓縮變形，低金屬離子全氟橡膠
|
制程 |
溫度 |
接觸工況 |
CWC系列應用 |
|
|
濕制程 |
晶圓清洗 |
RT~200℃ |
Piranha SC-1/SC-2/HF/SPM |
CWC7511 |
|
蝕刻 |
HNO3/HF/H3PO4/H2O2/Acetic acid BOE |
|||
|
光刻 |
H2SO4/NaOH/TMAH/NMP |
|||
|
熱制程 |
氧化/擴散 |
150℃~300℃ |
SiH2Cl2 N2 HN3 |
CWC750T |
|
LPCVD |
O2 N2 HCl |
|||
|
熱退火 |
IR/Low outgassing |
|||
|
電漿制程 |
蝕刻 |
RT~300℃ |
CF4 C3F8 CHF3 SF6 BCl HBr |
CWC650 |
|
灰化 |
O2 CF4 CHF3 NH3 |
|||
|
PECVD/HDPCVD |
N2O SiF4 O2 O3 NF3 CF4 |
|||
|
PVD/Metal CVD/ALD |
WF6 SiH4 H2 O2 TiCl4 NF3 AR |
|||
版權所有 ?江蘇翀偉材料科技有限公司 蘇ICP備11030102010293號